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上海昭沅儀器設(shè)備有限公司 
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上海昭沅儀器設(shè)備有限公司
店齡6年 · 
企業(yè)認(rèn)證 · 
上海市浦東新區(qū)
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店齡6年 · 企業(yè)認(rèn)證 · 上海市浦東新區(qū) 上海昭沅儀器設(shè)備有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 等離子處理機(jī), 大氣等離子清洗機(jī), 臺(tái)階儀
钳钻钺钳钴钳钳钶钼钶钳
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Plasma-Etch-等離子清洗機(jī)PE50-等離子處理機(jī)
價(jià)格
訂貨量(臺(tái))
￥129999.00
≥1
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發(fā)貨地 上海市浦東新區(qū)
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上海市浦東新區(qū)
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商品參數(shù)
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商品介紹
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聯(lián)系方式
品牌 Plasma Etch
型號(hào) PE-50
是否進(jìn)口 進(jìn)口
用途 表面清洗、刻蝕、活化、改性
頻率 13.56MHz/50kHz
電極尺寸 114mmx152mm
商品介紹
美國(guó)產(chǎn)Plasma Cleaning System
PE-50臺(tái)式實(shí)驗(yàn)室等離子表面處理機(jī)
PE-50小型等離子表面處理設(shè)備是專門針對(duì)于大學(xué)研究機(jī)構(gòu)和工廠研發(fā)部門設(shè)計(jì)的小批量樣品處理裝置.作為有針對(duì)的設(shè)計(jì)，突出移動(dòng)方便，超高功能和性能，操作方便的使用特性。
設(shè)備特點(diǎn):
1.體積小(寬356mmx高368mmx深457mm)，可放置在任何實(shí)驗(yàn)臺(tái)上。
2.性能可靠“肚量”寬大。真空腔體采用T6061航空鋁合金材料無(wú)縫焊接，電極面積達(dá)到114mmx152mm，腔體與電極之間的間隙可到51mm，樣品放置空間大。另外，PE-50可以升級(jí)成PE-50XL，處理面積達(dá)到191mmx223mmx90mm。
3.配置靈活可配置不同的頻率及功率：50KHz/13.56MHz；控制系統(tǒng)可選擇了PLC微電腦控制和更精準(zhǔn)的全數(shù)字電腦控制，以滿足不同用戶的要求。
4.操作簡(jiǎn)便，一般操作人員在極短的時(shí)間內(nèi)就可以熟練操作，甚至只需要幾分鐘就可掌握。
5. 安全保障：在小型設(shè)備中，唯一引入一鍵急停保護(hù)按鈕，可以快速終止實(shí)驗(yàn)，以最小程度降低因操作失誤而造成對(duì)樣品的損害。
| 外部尺寸 | 356mmWx368mmDx457mmH |
| 真空腔材質(zhì) | 耐用的焊接6061 T6鋁合金真空腔 |
| 真空腔尺寸 | （約140mm寬x179mm深x89mm高） |
| 電極尺寸 | 114mm（寬）x152mm（深）間隙51mm |
| 等離子發(fā)生器 | 功率max.400w（可調(diào)） 頻率：50KHz（可選配13.56MHz） |
| 供氣 | 氣體流量控制器0-25cc/minw/精密針形閥 |
| 壓力測(cè)量 | 熱電偶真空計(jì)0-1Torr |
| 控制器 | PLC微電腦控制系統(tǒng)。鍵盤用戶界面，數(shù)字字母顯示器。設(shè)置方案工藝可以進(jìn)行自動(dòng)處理。 |
| 安全保障 | 一鍵急停按鈕 |
| 電源 | 220VAC，14A |
| PE-50升級(jí)版 | 處理面積191mmx223mmx90mm |
附件（可選件）
抽氣裝置：推薦型號(hào)：5CFM2級(jí)直驅(qū)真空油泵
?氧氣發(fā)生器
?附加第二氣體通道。附加第二氣體控制器，0-25cc/min
?50KHz/400w可調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器，13.56MHz/125W/300W可調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器自動(dòng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)電源(HF)RFPowerSupply&AutoMatchingNetwork
?接枝設(shè)備
高級(jí)配置：
?PC/筆記本電腦的控制系統(tǒng)：基于Windows操作系統(tǒng)，裝有等PlasmaEtch操作軟件的筆記本電腦，包括全自動(dòng)系統(tǒng)操作，流程排序，多配方存儲(chǔ)，以及其他高級(jí)功能。
?質(zhì)量流量控制器：附加質(zhì)量流量控制器也可提供。
?氣流減壓裝置。
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公司名稱 上海昭沅儀器設(shè)備有限公司
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地址 上海市浦東新區(qū)
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