品名：氣體流量控制器（舊）

產地：日本產

用途：安裝在氣相沉積設備中，自動調節(jié)和控制氣體流量

原理：采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等，便實現(xiàn)了質量流量控制器的功能

功能：安裝在氣相沉積設備中，自動調節(jié)和控制用于控制氣體流量

品牌：HORIBA

型號：SEC-Z543KVX_N2:120SLM