一、設(shè)備用途及特點(diǎn)

用途：本雙面研磨機(jī)主要用于藍(lán)寶石襯底、硅片、陶瓷片、光學(xué)玻璃、石英晶體、其它半導(dǎo)體材料等非金屬和金屬的硬脆性材料薄形精密零件的上、下兩平行端面的同時(shí)磨削及拋光。

特點(diǎn)：1. 創(chuàng)新是設(shè)計(jì)的基本理念，本設(shè)備在設(shè)計(jì)時(shí)認(rèn)真分析和比較了國(guó)內(nèi)外同類設(shè)備的結(jié)構(gòu)、控制和功能特點(diǎn)，綜合、歸納并采用了眾多用戶的成功經(jīng)驗(yàn)和合理建議。著力提高設(shè)備的技術(shù)含量、運(yùn)行精度和運(yùn)行平穩(wěn)性。

2. 采用先進(jìn)的臺(tái)灣產(chǎn)PLC程序控制器，控制整機(jī)的動(dòng)作，自動(dòng)化程度高，并由與之匹配的大屏幕觸摸屏作界面，顯示當(dāng)前整機(jī)狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)人機(jī)對(duì)話，操作一目了然。

3. 采用變頻調(diào)速及全齒輪傳動(dòng)，使整機(jī)工作時(shí)起動(dòng)平穩(wěn)、運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定，尤其在低速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，克服了上、下研磨盤的竄動(dòng)、爬行現(xiàn)象。

4. 采用亞德克生產(chǎn)的氣動(dòng)執(zhí)行元件與SMC生產(chǎn)的氣動(dòng)控制元件配套，實(shí)現(xiàn)研磨盤分輕壓、中壓、重壓、精研等四個(gè)階段的壓力無級(jí)調(diào)節(jié)，為磨削工件提供更出色的研磨效率及更廣泛的磨削工藝選擇。

5. 大齒圈可以升降，且升降位置可以調(diào)節(jié)。太陽(yáng)輪的高度也可以通過定期增減墊片數(shù)量進(jìn)行調(diào)節(jié)。

6. 減速機(jī)用杭州杰牌的，型號(hào)是150-20與075-30。

7. 采用雙電機(jī)和雙變頻驅(qū)動(dòng)；產(chǎn)地是無錫亨達(dá)高溫變頻電機(jī)。主電機(jī)（9KW/1440rpm）帶動(dòng)上、下研磨盤和齒圈；用副電機(jī)（1.5KW/1400rpm）帶動(dòng)太陽(yáng)輪。副電機(jī)與主電機(jī)按比例同步調(diào)速。

8. 配備有自動(dòng)潤(rùn)滑裝備，對(duì)齒輪進(jìn)行潤(rùn)滑。

9. 本設(shè)備可設(shè)定和存儲(chǔ)二十套不同的工藝參數(shù)（壓力、速度、時(shí)間、圈數(shù)）供使用者選用。

10. 配有主氣缸端鎖機(jī)構(gòu)，可方便、安全鎖定上研磨盤。

 主要技術(shù)參數(shù)

1）研磨盤規(guī)格：上盤Φ965×Φ385×45mm  下盤Φ965×Φ385×35mm  

2）行星輪規(guī)格:Dp12 Z=152 a=20° （外徑：Φ325.96）  

3）放置行星輪個(gè)數(shù)n 3≤n≤6

4）研磨工件厚度:b 0.3mm≦b≦20mm

5）研磨工件理想規(guī)格: Φ150   最大工件規(guī)格：對(duì)角線300mm

6）齒圈升降高度:35mm

7）下研磨盤轉(zhuǎn)速: 0-50r

8）主氣缸: Φ125×450mm

9）升降氣缸: Φ80×250mm

10）端鎖氣缸: Φ32×15mm

11）主電機(jī):YVP132M-4  9KW

12）副電機(jī): YVP90L-4  1.5KW

13）砂泵電機(jī): AB-100  250   

14）設(shè)備外形尺寸：1700×1350×2650mm

1700×1350×2650mm

15）設(shè)備重量：3100Kg

3100Kg

主機(jī)精度：

下拋光盤端面跳動(dòng)：0.05mm

上下拋光盤平面度：0.02mm

太陽(yáng)輪徑向跳動(dòng)：0.06mm

齒圈徑向跳動(dòng)：0.12mm

加工精度：

修正輪修研后平面度，平行度0.003mm

加工件平面度，平行度：0.002mm

加工能力：

單片承片量   8片/φ75mm   5片/φ100mm

整盤承片量   48片/φ75mm   30片/φ100mm