廣東二手日本創(chuàng)技16B雙面拋光機-平面拋光機半導體-硅片-金屬加工
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機型發(fā)展至現(xiàn)可為廣泛用于玻璃面板、玻璃基片、MP3面板、微晶玻璃、光學玻璃、光學鏡片、LED藍寶石襯底、石英晶體片、硅片、諸片、玻璃片、陶瓷基片、陶瓷基板、活塞環(huán)、閥片、鋁鐵硼、鉬片、鐵氧體、鈮酸鋰、鉭酸鋰、PTC熱敏電阻、光盤基片、陶瓷密封環(huán)、硬質合金密封環(huán)、鎢鋼片、五金拋光、等各種材料的單面及雙面研磨、拋光.加工的專業(yè)生產廠家。
產品用途:
本機適用于硅片、石英晶片、藍寶石、光學玻璃陶瓷片、砷化鉀片及其它硬脆材料的雙面精密研磨加工。
主要特點:
1.變頻器配合異步電機拖動,實現(xiàn)了軟啟動,軟停止,調速穩(wěn)定,沖擊小。
2.采用雙電機同步拖動,太陽輪變速范圍更廣,能適應不同研磨工藝的要求。
3.太陽輪與內齒圈同步抬升,滿足了取放工件及調整游輪嚙合位置的要求。
4.上下研磨盤采用斜齒輪傳動,提高了運轉平穩(wěn)性。
5.采用PLC控制,壓力采用電—氣比例閥閉環(huán)反饋控制,壓力等級設定更方便精確,操作簡單易行,工作可靠穩(wěn)定。
6.本機應用人機界面(PT)采用人機界面終端(NT)顯示與PLC控制,一方面顯示運行參數,另一方面通過其觸摸鍵調整設定各項工藝參數,主操作由普通鍵鈕完成。
7.造型及內部結構充分考慮了可靠性、實用性、互換性和操作和維修的方便性。
主要技術參數:
1、研磨盤尺寸:1400mm×450mm×50mm
2、游星片參數:公制M=2 Z=212
英制DP12 Z=200
3、游星片數量:5片
4、“”研磨直徑:450mm
5、最小研磨厚度:0.40mm/125mm
6、“”研磨厚度:50mm
7、下研盤轉速0-50rpm
8、主電機:11kW AC380V 1450rpm變頻調速
9、副電機:1.5kW AC380V 1400rpm
10、砂泵參數:1/4HP 380V
11、氣源:0.5-0.6MPa
12、外形尺寸:2200mm×1600mm×2700mm
13、質量:約6500Kg
主機精度:
1.下研盤端跳:0.06mm
2.研磨盤平面度:0.025mm
3.太陽輪徑向跳動:0.08mm
4.齒圈徑向跳動:0.15mm
加工精度(四個修正輪修研后):
1.修正輪修研后平行平面度:0.004mm
2.加工件平面平行度:0.0035/125mm
加工能力:
1.單片承片量:17片/75mm 8片/100mm 5片/125mm
2.整盤承片量:85片/75mm 40片/100mm 25片/125mm