ADVANCED離子束刻蝕系統(tǒng)金屬材料刻蝕
ADVANCED離子束刻蝕系統(tǒng)金屬材料刻蝕
ADVANCED離子束刻蝕系統(tǒng)金屬材料刻蝕
ADVANCED離子束刻蝕系統(tǒng)金屬材料刻蝕

ADVANCED離子束刻蝕系統(tǒng)金屬材料刻蝕

價格

訂貨量(臺)

￥9990.00

≥1

聯(lián)系人 肖工

掃一掃添加商家

䝒䝐䝐䝔䝒䝘䝕䝑䝓䝏䝘

發(fā)貨地 北京市海淀區(qū)
進入商鋪
掃碼查看

掃碼查看

手機掃碼 快速查看

在線客服

商品參數(shù)
|
商品介紹
|
聯(lián)系方式
是否進口 是
加工定制 是
類型 離子束刻蝕系統(tǒng)
品牌 ADVANCED
型號 ADVANCED
刻蝕速率 200nm/min
基片尺寸 ≤4英寸
刻蝕氣體 Ar
刻蝕均勻性與重復性 3英寸襯底均勻性優(yōu)于±5% ，重復性優(yōu)于±5%
是否跨境 是
商品介紹

離子束刻蝕系統(tǒng)

?

一、離子束刻蝕系統(tǒng)產(chǎn)品簡介

離子束刻蝕系統(tǒng)的基本原理是利用輝光放電原理將氬氣分解為氬離子，氬離子經(jīng)過陽極電場的加速對樣品表面進行物理轟擊，以達到刻蝕的作用。把Ar氣充入離子源放電室并使其電離形成等離子體，然后由柵極將離子呈束狀引出并加速，具有一定能量的離子束進入工作室，射向固體表面轟擊固體表面原子，使材料原子發(fā)生濺射，達到刻蝕目的，屬純物理刻蝕。


二、離子束刻蝕系統(tǒng)主要技術指標：

1.極限真空：9′10-5Pa

2.刻蝕均勻性與重復性：3英寸襯底均勻性優(yōu)于±5% ，重復性優(yōu)于±5%

3.刻蝕速率:200nm/min

4.基片尺寸：≤4英寸

5.刻蝕氣體：:Ar


三、離子束刻蝕系統(tǒng)主要用途主要用于金屬材料的刻蝕


  






聯(lián)系方式
公司名稱 北京華測試驗儀器有限公司
聯(lián)系賣家 肖工 （QQ：479014311）
電話 䝑䝒䝑-䝕䝘䝖䝘䝑䝒䝒䝔
手機 䝒䝐䝐䝔䝒䝘䝕䝑䝓䝏䝘
地址 北京市海淀區(qū)
聯(lián)系二維碼