成都漢普升科技有限公司
主營產(chǎn)品: 光學(xué)器件, 光電設(shè)備, 電子設(shè)備
成都真空設(shè)備廠家-半導(dǎo)體制程PVD沉積臺-電阻蒸發(fā)-電子束蒸發(fā)
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钳钶钸钻钶钷钼钻钳钵钴
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胡先生
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經(jīng)營模式
生產(chǎn)廠家
所在地區(qū)
四川省成都市
主營產(chǎn)品
●本裝置使用電阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)和離子源輔助清洗、輔助沉積和原位刻蝕進(jìn)行復(fù)合,用于制備特種薄膜,薄膜具有均勻性、附著力、抗損傷、低顆粒物污染等特點(diǎn),是半導(dǎo)體制程中關(guān)鍵工序的核心裝備,其技術(shù)長期被美國、日本等國技術(shù)巨頭所壟斷,屬于國內(nèi)卡脖子裝備,也是制約國內(nèi)半導(dǎo)體領(lǐng)域自主可控的關(guān)鍵設(shè)備,該設(shè)備的技術(shù)突破和產(chǎn)業(yè)化對國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有積極意義。