杭州精兢檢測儀器有限公司
店齡5年 · 企業(yè)認(rèn)證 · 浙江省杭州市
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杭州精兢檢測儀器有限公司
主營產(chǎn)品: 儀器設(shè)備計(jì)量校準(zhǔn)檢測, 恒溫恒濕箱, 高低溫試驗(yàn)箱, 老化試驗(yàn)箱, 影像測量儀, 高精度扭矩測試儀, 顯微硬度計(jì)廠家, 金相切割機(jī), 金相磨拋機(jī)
精兢中圖CP系列臺階儀
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杭州精兢檢測儀器有限公司
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生產(chǎn)廠家
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浙江省杭州市
詳細(xì)信息
一、產(chǎn)品簡介
CP系列臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。測量時通過使用2μm半徑的金剛石針尖在超精密位移臺移動樣品時掃描其表面,測針的垂直位移距離被轉(zhuǎn)換為與特征尺寸相匹配的電信號并最終轉(zhuǎn)換為數(shù)字點(diǎn)云信號,數(shù)據(jù)點(diǎn)云信號在分析軟件中呈現(xiàn)并使用不同的分析工具來獲取相應(yīng)的臺階高或粗糙度等有關(guān)表面質(zhì)量的數(shù)據(jù)。
CP系列臺階儀具備極強(qiáng)的應(yīng)用場景適應(yīng)性,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征,對于相關(guān)材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。
二、產(chǎn)品功能
1. 參數(shù)測量功能
1) 臺階高度:能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料;
2) 粗糙度與波紋度:能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,分析軟件通過計(jì)算掃描出的微觀輪廓曲線,可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項(xiàng)參數(shù);
3) 翹曲與形狀:能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲,如在半導(dǎo)體晶圓制造過程中,因多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化,或者類似透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。
2、數(shù)采與分析系統(tǒng)
1) 自定義測量模式:支持用戶以自定義輸入坐標(biāo)位置或相對位移量的方式來設(shè)定掃描路徑的測量模式;
2) 導(dǎo)航圖智能測量模式:支持用戶結(jié)合導(dǎo)航圖、標(biāo)定數(shù)據(jù)、即時圖像以智能化生成移動命令方式來實(shí)現(xiàn)掃描的測量模式。
3) SPC統(tǒng)計(jì)分析:支持對不同種類被測件進(jìn)行多種指標(biāo)參數(shù)的分析,針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)的變化趨勢。
3、光學(xué)導(dǎo)航功能
4、樣品空間姿態(tài)調(diào)節(jié)功能
三、典型應(yīng)用
半導(dǎo)體應(yīng)用◆ 沉積薄膜的臺階高度 ◆ 抗蝕劑(軟膜材料)的臺階高度 ◆ 蝕刻速率測定 ◆ 化學(xué)機(jī)械拋光(腐蝕、凹陷、彎曲) | 大型基板應(yīng)用◆ 印刷電路板(突起、臺階高度) ◆ 窗口涂層 ◆ 晶片掩模 ◆ 晶片卡盤涂料 ◆ 拋光板 |
玻璃基板及顯示器應(yīng)用◆ AMOLED ◆ 液晶屏研發(fā)的臺階步級高度測量 ◆ 觸控面板薄膜厚度測量 ◆ 太陽能涂層薄膜測量 | 柔性電子器件薄膜應(yīng)用◆ 有機(jī)光電探測器 ◆ 印于薄膜和玻璃上的有機(jī)薄膜 ◆ 觸摸屏銅跡線 |