OSAKA磁懸浮軸承型復合分子泵-TG-M系列-大阪分子泵
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所在地區(qū)
上海市閔行區(qū)
OSAKA分子泵 大阪分子泵
磁懸浮軸承型復合分子泵 TG-M系列
使用磁懸浮軸承實現(xiàn)無油的排氣,而且維護周期長。提供排氣速度300L/s~3400L/s的產(chǎn)品
該系列產(chǎn)品型號:
TG397M、TG427M、TG907M、TG1307M、TG390M、TG420M
TG900M、TG1300M、TG2400M、TG-MU、TG-ML、TG-MI
TG2400M渦輪分子泵
全方位安裝
輕巧設計
節(jié)能
分子泵停止與啟動時間短
附帶維護警報機能
低振動
無需調整
自動校準
可控制轉子旋轉速度
大流量排氣
多種通信模式
符合安全規(guī)格 NRTL/SEMI-S2/CE
產(chǎn)品應用:
半導體制造
電子槍排氣,離子源排氣
FPD制造
表面處理,表面改質
各種電子部件的制造
分析,試驗裝置
管球制造,光學部件制造
加速器,放射線設施,核聚變研究
熱處理
研究開發(fā)
技術參數(shù):
吸氣口法蘭 | VG250 ISO-B250 | |
排氣速度 | N2 (L/s) | 2400 |
N2(附加金屬保護網(wǎng)) (L/s) | 2300 | |
H2 (L/s) | 1100 | |
zui大壓縮比 | N2 | 1×108 |
H2 | 1.4×103 | |
極限壓力 | VG?ISO-B (Pa/Torr) | <1×10-6 / <7.5×10-9 |
zui大氣體流量※1 | N2 (sccm) | 3000 |
啟動時間 | (min) | 4~5 |
停止時間 | (min) | 4~5 |
允許輔助壓力 | (Pa / Torr) | 200 / 1.5 |
推薦輔助泵 | (L/min) | ≧500 |
安裝角度 | 任意 | |
重量 | (kg) | 45 |