產品名稱：INFICON射頻檢測器(SION) 

品牌：美國INFICON

產地：美國

型號：SION

無創(chuàng)卡箍式射頻檢測儀可在 iPVD、PECVD 和蝕刻應用中實現高速電弧檢測
減少晶圓損失，提高產出
等離子體加工期間的電弧放電可造成靶和腔室損壞，因而導致基材受損并形成顆粒。隨著特征尺寸的下降，微電子設備越來越容易出現電弧引發(fā)的損壞。電弧放電可出現在任何等離子輔助過程中，例如電離物理氣相沉積 (iPVD)、等離子增強化學氣相沉積 (PECVD) 和蝕刻。INFICON Sion 弧檢測器可提供至關重要的**道防線。Sion 能夠快速檢測到微弧并在明顯損傷或廢料出現之前對其作出反應。系統可對等離子微電弧事件進行實時檢測和分析。

功能