桌面式熱板 HP-150

HP-150熱板應(yīng)用于光刻, MEMS或者相似工藝中，為提供精準(zhǔn)的前烘和后烘工藝而存在。 溫度范圍默認(rèn)可以達(dá)到250°C。設(shè)定溫度與實(shí)際溫度之間幾乎無偏差，可以達(dá)到非常高質(zhì)量的工藝水平。 HP系列熱板具備高水平的溫度精度重現(xiàn)性以及溫度分布均勻性。可以處理150x150mm尺寸的基片。 熱板加熱表面有玻璃蓋板，方便清潔。

產(chǎn)品功能：

1.  數(shù)字溫度控制以及實(shí)時(shí)溫度顯示
2. 自動溫度限幅開關(guān)，避免過熱
3. 配備安全玻璃，也方便清潔
4. 熱板急速調(diào)平，避免光刻膠流動
5. 基片通過真空吸附固定
6. 手動上下片

性能參數(shù)：

1. 均勻加熱區(qū)域：150mmX150mm
2. 溫度范圍：室溫到大達(dá)250℃
3. 溫度均勻性：100℃時(shí)溫差范圍+/1℃

4. 柜式熱板 HP-200

   
   

   HP-200 熱板 應(yīng)用于光刻, MEMS 或者相似工藝中，為提供精準(zhǔn)的前烘和后烘工藝而存在。 溫度范圍默認(rèn)可以達(dá)到 250°C。設(shè)定溫度與實(shí)際溫度之間幾乎無偏差，可以達(dá)到非常高質(zhì)量的工藝水平。 HP 系列熱板具備超高水平的溫度精度重現(xiàn)性以及溫度分布均勻性?？梢蕴幚?200x200mm 尺寸的基片。 熱板加熱表面有玻璃蓋板，方便清潔。

   產(chǎn)品功能：

   1. 數(shù)字溫度控制以及實(shí)時(shí)溫度顯示
   2. 重復(fù)工藝的快速啟動
   3. 自動溫度限幅開關(guān)，避免過熱
   4. 加熱工藝可編程多段式，每個(gè)工藝可設(shè)置20段
   5. 電動升降式載片頂針
   6. 配備安全玻璃，也方便清潔
   7. 熱板極速調(diào)平，避免光刻膠流動
   8. 用戶操作的工藝參數(shù)配置界面以及觸摸屏
   9. 基片通過真空吸附固定
   10. 手動上下片

   性能參數(shù)：

   1. 均勻加熱區(qū)域：200mmX200mm
   2. 溫度范圍：室溫到 250℃
   3. 溫度均勻性：100℃ 時(shí)溫差范圍 +/-0.6℃
   4. 電動驅(qū)動頂針的升降