干法去膠機(jī)-Virgo等離子去膠機(jī) 螣芯科技
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商品參數(shù)
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商品介紹
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品牌 螣芯科技
功能 干法等離子去膠
尺寸 6-12寸
等離子體源 13.56MHZ
上料方式 手動(dòng)/全自動(dòng)
商品介紹

Virgo系列是適用于硅基半導(dǎo)體及化合物半導(dǎo)體前后道的等離子體去膠設(shè)備，可用于光刻膠灰化/殘膠去除和表面處理，該系列有兩種配置分別兼容4“/6”/8“或8“/12“晶圓。Virgo系列設(shè)計(jì)緊湊占地面積小，設(shè)備穩(wěn)定可靠、易于維護(hù)、產(chǎn)能高。


  • 應(yīng)用領(lǐng)域

    6 ”到8 ”硅基半導(dǎo)體生產(chǎn)線

    ? 刻蝕后光刻膠灰化；

    ? 殘膠去除

    ? 高劑量離子注入后光刻膠去除

    3 ”到6 ”碳化硅、氮化鎵、砷化鎵、磷化銦等化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)線光刻膠灰化

    ? 殘膠去除；

    ? 高劑量離子注入后光刻膠去除

    ? 圖形下光刻膠釋放

    8 ”到12”晶圓級(jí)封裝生產(chǎn)產(chǎn)線光刻膠殘膠去除

    ? 有機(jī)物去除

    ? 晶圓表面處理

  • 運(yùn)作特點(diǎn)

    兼容晶圓尺寸為：4 ” /6 ” /8”或8 ” /12 ” ；

    支持2 個(gè)開放式晶圓匣或SMIF

    高精度3 軸機(jī)械手；

    2種可選等離子體源:

    ? RPS (400KHz Toroidal遠(yuǎn)程等離子體源 )

    ? 電感耦合等離子體源 (13.56MHz)

    高密度等離子體，去膠速率快

    優(yōu)異的均勻性和重復(fù)性

    占地面積小

    耗材成本（COC）和使用成本（COO)低

    人性化的人機(jī)交互操作系統(tǒng)

    工業(yè)計(jì)算機(jī)Windows

聯(lián)系方式
公司名稱 螣芯科技
聯(lián)系賣家 婁先生 （QQ：1029292366）
手機(jī) 䝒䝐䝒䝓䝓䝔䝗䝘䝖䝕䝓
地址 上海市青浦區(qū)
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