OLS4500納米檢測(cè)顯微鏡

LEXT OLS4500納米檢測(cè)顯微鏡為您帶來的解決方案

實(shí)現(xiàn)納米級(jí)觀測(cè)的新型顯微鏡。不會(huì)丟失鎖定的目標(biāo)。

涵蓋了低倍到高倍觀察，并配有多種觀察方法可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象。
可以完成低倍到高倍的大范圍倍率觀察。不僅如此，光學(xué)技術(shù)打造的光學(xué)顯微鏡帶來多種觀察方法，可以容易的發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象。此外，對(duì)于光學(xué)顯微鏡難以找到的觀察對(duì)象，還可以使用激光顯微鏡進(jìn)行觀察。在激光微分干涉（DIC） 觀察中，可以進(jìn)行納米級(jí)微小凹凸的實(shí)時(shí)觀察。

縮短從放置樣品到獲取影像的工作時(shí)間。
放置好樣品后，所有的操作都在1臺(tái)裝置上完成。可以迅速，正確的把觀察對(duì)象移到SPM顯微鏡下面，所以只要掃描1次就能獲取所需的SPM影像。

一體機(jī)的機(jī)型，所以無需重新放置樣品只要在1臺(tái)裝置上切換倍率、觀察方法就能夠靈活應(yīng)對(duì)新樣品。

OLS4500實(shí)現(xiàn)了無縫觀察和測(cè)量
【發(fā)現(xiàn)】可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象
使用光學(xué)顯微鏡的多種觀察方法， 迅速找到觀察對(duì)象
OLS4500采用了白色LED光源， 可以觀察到顏色-逼真的高分辨率彩色影像。它裝有4種物鏡， 涵蓋了低倍到高倍的大范圍觀察。OLS4500充分發(fā)揮了光學(xué)觀察的特長， 除了常使用的明視場(chǎng)觀察（BF）以外， 還可以使用對(duì)微小的凹凸添加明暗對(duì)比， 達(dá)到視覺立體效果的微分干涉觀察（DIC）， 以及用顏色表現(xiàn)樣品偏光性的簡(jiǎn)易偏振光觀察。此外， OLS4500上還配有HDR功能（高動(dòng)態(tài)范圍功能）， 該功能使用不同的曝光時(shí)間拍攝多張影像后進(jìn)行合成， 來顯示亮度平衡更好、強(qiáng)調(diào)了紋理的影像。在OLS4500上您可以使用多種觀察方法迅速找到觀察對(duì)象。

使用激光顯微鏡，可以觀察到光學(xué)顯微鏡中難以觀察到的樣品影像
OLS4500采用了短波長405 nm的激光光源和高N.A.的專用物鏡， 實(shí)現(xiàn)了優(yōu)異的平面分辨率。能以鮮明的影像呈現(xiàn)出光學(xué)顯微鏡中無法看到的觀察對(duì)象。在激光微分干涉（DIC）模式中還可以實(shí)時(shí)觀察納米級(jí)的微小凹凸。

  【接近】迅速發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象，在SPM上正確完成觀察
實(shí)現(xiàn)了無縫觀察，不會(huì)丟失觀察對(duì)象
OLS4500在電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了涵蓋低倍到高倍觀察的4種物鏡， 以及小型SPM單元。在光學(xué)顯微鏡或激光顯微鏡的50倍、100倍的實(shí)時(shí)觀察中， 由于SPM掃描范圍一直顯示于視場(chǎng)中心， 所以把觀察目標(biāo)點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)該位置后， 只要切換到探針顯微鏡， 就能夠正確接近觀察對(duì)象。因此， 只需1次SPM掃描就能獲取目標(biāo)影像， 從而能夠提高工作效率并降低微懸臂的損耗。

不會(huì)在SPM觀察中迷失的、可切換式向?qū)Чδ?/span>

【納米級(jí)測(cè)量】簡(jiǎn)單操作，可以迅速獲得測(cè)量結(jié)果
新開發(fā)的小型SPM測(cè)頭， 減少了影像瑕疵

使用向?qū)Чδ?，自由放大SPM影像
使用向?qū)Чδ埽?可以觀察時(shí)進(jìn)一步放大探針顯微鏡拍到的影像的所需部分倍率。只要在影像上用鼠標(biāo)指針設(shè)置放大范圍并掃描， 就可以獲取所需的SPM影像?？梢宰杂稍O(shè)置掃描范圍， 所以大幅度提高了觀察和測(cè)量的效率。

向?qū)Чδ茉?0μm×10μm影像上放大3.5μm×3.5μm范圍

優(yōu)異的分析功能， 應(yīng)對(duì)各種測(cè)量目的

跟從向?qū)М嬅娴闹甘荆?可輕松操作的6種SPM測(cè)量模式

相位模式
在動(dòng)態(tài)模式的掃描中， 檢測(cè)出微懸臂振動(dòng)的相位延遲?？梢栽谟跋裰谐尸F(xiàn)樣品表面的物性差。

高度分辨率10 nm，輕松測(cè)量微小輪廓
由于采用405 nm的短波長激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡， OLS4500達(dá)到了0.12 μm的平面分辨率。因此， 可以對(duì)樣品的表面進(jìn)行亞微米的測(cè)量。結(jié)合高精度的光柵讀取能力和奧林巴斯獨(dú)有的亮度檢測(cè)技術(shù)， OLS4500可以分辨出亞微米到數(shù)百微米范圍內(nèi)的高度差。此外， 激光顯微鏡測(cè)量還了測(cè)量儀器的兩大指標(biāo)——“正確性”（測(cè)量值與真正值的接近程度）和“重復(fù)性”（多次測(cè)量值的偏差程度）的性能。

從大范圍拼接影像中指定目標(biāo)區(qū)域
高倍率影像容易使視場(chǎng)范圍變小，而通過設(shè)置，OLS4500的拼接功能多可以拼接625幅影像，從而能夠獲得高分辨率的大范圍視圖數(shù)據(jù)。不僅如此，還可以在該大范圍視圖上進(jìn)行3D顯示或3D測(cè)量。

可用于傳統(tǒng)的線粗糙度測(cè)量，也可用于信息量較多的面粗糙度測(cè)量

在面粗糙度測(cè)量中詳細(xì)掌握粗糙度的分布和特點(diǎn)
在非接觸式表面粗糙度測(cè)量中， 除了線粗糙度還可以測(cè)量面粗糙度。在面粗糙度測(cè)量中可以掌握樣品表面上指定區(qū)域內(nèi)粗糙度分布和特點(diǎn)， 并能夠與3D影像對(duì)照評(píng)價(jià)。OLS4500可以根據(jù)不同樣品和使用目的， 分別使用激光顯微鏡功能或探針顯微鏡功能測(cè)量表面粗糙度。

激光顯微鏡的面粗糙度測(cè)量（105μm×105μm）焊盤 探針顯微鏡的面粗糙度測(cè)量（10μm×10μm）

OLS4500的粗糙度參數(shù)
參數(shù)兼容性
OLS4500具有與接觸式表面粗糙度測(cè)量儀相同的表面輪廓參數(shù)，因此具有相互兼容的操作性和測(cè)量結(jié)果。

適應(yīng)下一代參數(shù)
OLS4500具有符合ISO25178的粗糙度（3D）參數(shù)。通過評(píng)估平面區(qū)域，可以進(jìn)行高可靠性的分析。

OLS4500的顯微鏡技術(shù)

光學(xué)顯微鏡的原理和特長

激光顯微鏡的原理和特長
可進(jìn)行亞微米級(jí)觀察和測(cè)量的激光顯微鏡（LSM:Laser Scanning Microscope)

探針顯微鏡的原理和特長
可以觀察納米級(jí)微觀世界的探針顯微鏡(SPM:Scanning Probe Microscope)

通過微懸臂掃描進(jìn)行納米觀察

多種觀察模式在影像中呈現(xiàn)表面形狀和物性

決定高精細(xì)度、高質(zhì)量影像的微懸臂
探針位于長度約100μm～200μm的薄片狀微懸臂的前端。您可以根據(jù)樣品選擇不同的彈簧常數(shù)、共振頻率。反復(fù)掃描會(huì)磨損探針， 所以請(qǐng)根據(jù)需要定期更換微懸臂探針。

技術(shù)規(guī)格