圓形磁控陰極
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羽眾光科技（武漢）有限公司

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商品介紹
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品牌 新普真空
規(guī)格 標(biāo)準(zhǔn)2``/60/3``/4``/5``/6``/8``|及對應(yīng)公制|可定制
適用范圍 標(biāo)準(zhǔn)5~15mm
產(chǎn)品用途 廣泛應(yīng)用于工具鍍，電子元器件，半導(dǎo)體及科研行業(yè)。
加工定制 可定制
材質(zhì) 內(nèi)安裝/外安裝
擋板及角度調(diào)節(jié) 角度調(diào)節(jié)器可選|專利電動(dòng)/氣動(dòng)擋板可選
功率密度 Max ~10-15 W/cm2具體數(shù)值取決于靶材和電源類型
真空漏率 Helium Leak check <10-9Torrl/s
水冷要求 間接水冷@20~50 oC
商品介紹

采用磁場-等離子體模擬和模塊化磁路設(shè)計(jì)，使得MPC系列圓形陰極特別適合于要求快速更換磁路模塊以適應(yīng)不同薄膜工藝，廣泛應(yīng)用于工具鍍，電子元器件，半導(dǎo)體及科研行業(yè)。



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公司名稱 羽眾光科技（武漢）有限公司
聯(lián)系賣家 蘭賓瑞 （QQ：1272018451）
電話 钺钹钵-钼钴钹钸钼钳钵钹
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地址 湖北省武漢市
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