北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司
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科創(chuàng)真空-立式真空腔室加工-半導(dǎo)體真空腔室加工機(jī)構(gòu)
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真空腔體除塵過濾方式及過濾裝置大家了解多少呢?
有些真空工藝會(huì)產(chǎn)生大量的塵土,如果塵土隨被抽氣體進(jìn)入油封真空泵內(nèi)混在泵油中,會(huì)像研磨劑一樣加速泵腔內(nèi)零件的磨損,對(duì)泵轉(zhuǎn)子和泵腔造成磨損和損壞,堵塞油路或使泵無法運(yùn)轉(zhuǎn),如果塵土進(jìn)入真空閥門則會(huì)使密封失效而泄漏,因此塵土的規(guī)避和過濾己成為增加真空腔體的使用壽命,增加生產(chǎn)率的關(guān)鍵問題,在有塵土的真空系統(tǒng)中,要采用塵土過濾器。
在塵土量較少時(shí),可以由泵油過濾系統(tǒng)濾除,但塵土量較大時(shí),為不讓真空泵損壞,讓真空泵的正常運(yùn)轉(zhuǎn)要使用除塵器。真空腔體加工廠家解釋說常用塵土過濾方法有以下幾種:
(1)旋風(fēng)離心式。進(jìn)氣口與筒體成偏疼放置,塵土隨氣流旋轉(zhuǎn),因離心力效果而沉降在過濾器的底部。
(2)油淋式。在油泵的效果下,使真空泵油從除塵器的頂部高速噴下,油霧與上升的氣流相互效果吸附,混在氣流中的塵土與油一同沉降至油池。
(3)油濕介質(zhì)粘附式。塵土在氣流效果下磕碰用真空泵油浸濕的介質(zhì)外表而被粘附,常用介質(zhì)有環(huán)狀或顆粒狀陶瓷、金屬絲條等。
(4)介質(zhì)阻撓式。使用介質(zhì)的機(jī)械阻撓效果過濾塵土,常用介質(zhì)有金屬絲網(wǎng)、天然或合成纖維、多孔金屬、多孔塑料等。
(5)靜電吸附式。使用真空中氣輝光放電構(gòu)成等離子體,塵土在等離子體中附著電荷,在電場(chǎng)力效果下被驅(qū)向電極外表而集。
(6)混合式。將以上幾種過濾形式進(jìn)行組合構(gòu)成混合的過濾形式。
真空腔體
真空腔體是堅(jiān)持內(nèi)部為真空狀態(tài)的容器,真空腔體的制造要考慮容積、材質(zhì)和形狀。下面咱們就和真空腔體加工廠家一起來看看這些方面吧。
近年來,為了下降真空腔體的制造成本,選用鑄造鋁合金來制造腔體也逐步普及。另外,選用鈦合金來制造特殊用處真空腔體的比如也不少。
為了減小腔體內(nèi)壁的外表積,一般用噴砂或電解拋光的辦法來獲得平整的外表。超高真空系統(tǒng)的腔體,更多的是運(yùn)用電解拋光來進(jìn)行外表處理。
焊接是真空腔體制造中重要的環(huán)節(jié)之一。為防止大氣中熔化的金屬和氧氣發(fā)作化學(xué)反應(yīng)然后影響焊接質(zhì)量,一般選用弧焊來完結(jié)焊接?;『甘侵冈诤附舆^程中向鎢電極周圍噴發(fā)保護(hù)氣體氣,以防止熔化后的高溫金屬發(fā)作氧化反應(yīng)。
超高真空腔體的弧焊接,原則上必須選用內(nèi)焊,即焊接面是在真空一側(cè),避免存在死角而發(fā)作虛漏。真空腔體不允許內(nèi)外兩層焊接和兩層密封。
真空腔體的內(nèi)壁外表吸附大量的氣體分子或其他有機(jī)物,成為影響真空度的放氣源。為實(shí)現(xiàn)超高真空,要對(duì)腔體進(jìn)行150~250℃的高溫烘烤,以促使資料外表和內(nèi)部的氣體盡快放出。烘烤辦法有在腔體外壁纏繞加熱帶、在腔體外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳子中。比較經(jīng)濟(jì)簡(jiǎn)略的烘烤辦法是運(yùn)用加熱帶,加熱帶的外面再用鋁箔包裹,防止熱量流失的同時(shí)也可使腔體均勻受熱。
新完結(jié)的腔體烘烤時(shí),一般需要一周時(shí)刻,重復(fù)烘烤后單獨(dú)的烘烤時(shí)刻可以恰當(dāng)減少。為了更準(zhǔn)確地丈量真空度,中止烘烤后也應(yīng)該對(duì)真空計(jì)進(jìn)行除氣處理。假如真空泵能力充沛并且烘烤時(shí)刻充足的話,烘烤后真空度可進(jìn)步幾個(gè)數(shù)量級(jí)。
真空腔體常用的清洗方法
1、超聲波清洗
超聲波清洗是利用超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進(jìn)流作用對(duì)液體和污物直接、間接的作用,使污物層被分散、乳化、剝離而達(dá)到清洗目的.
2、電解侵蝕清洗
電解侵蝕清洗類似于電解拋光,是指在溶劑中利用電解作用,清除金屬部件表面上的薄銹或氧化膜等污染物,主要用于化學(xué)穩(wěn)定性較高的合金部件,如不銹鋼,耐熱鋼等.
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