晶圓劃片-超平硅片-激光掏圓-誤差小精度高—華諾激光晶圓硅片切割
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晶圓劃片 超平硅片 激光掏圓 誤差小精度高—華諾激光晶圓硅片切割
激光屬于無(wú)接觸式加工,不對(duì)晶圓產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力的作用,對(duì)晶圓損傷較小。由于激光在聚焦上的優(yōu)點(diǎn),聚焦點(diǎn)可小到微米數(shù)量級(jí),從而對(duì)晶圓的微處理更具有優(yōu)越性,可以進(jìn)行小部件的加工;即使在不高的脈沖能量水平下,也能得到較高的能量密度,有效地進(jìn)行材料加工。大多數(shù)材料吸收激光直接將硅材料氣化,形成溝道。從而實(shí)現(xiàn)切割的目的因?yàn)楣獍唿c(diǎn)較小,最低限度的炭化影響。
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晶圓劃片 超平硅片 激光掏圓 誤差小精度高—華諾激光晶圓硅片切割
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