廣州市固潤(rùn)光電科技有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品: 主動(dòng)減震臺(tái), 探針臺(tái), 光譜輻射計(jì)
主動(dòng)減振臺(tái)-主動(dòng)式隔震臺(tái)-精密儀器隔振臺(tái)-Table-stable
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主營(yíng)產(chǎn)品
主動(dòng)減振臺(tái)/主動(dòng)式隔震臺(tái)/精密儀器隔振臺(tái)/Table stable
品牌:Herz/Table Stable
型號(hào):AVI-400XL
描述:AVI系列是一款緊湊型模塊化的主動(dòng)隔振系統(tǒng),可在寬頻率范圍內(nèi)為電子顯微鏡和類似的大型研究?jī)x器提供業(yè)界領(lǐng)先的主動(dòng)隔振性能(從0.5 Hz開始)。AVI系列平臺(tái)通過消除影響測(cè)量的破壞性低頻振動(dòng)噪聲,幫助用戶從顯微鏡上獲得更多收益,并且平臺(tái)采用了低調(diào)的模塊化設(shè)計(jì),無(wú)需為大多數(shù)儀器(包括大多數(shù)SEM)安裝所需的升降設(shè)備,從而簡(jiǎn)化了安裝過程。適用于各類大型電子顯微鏡AEM\SEM\ATM\TEM,干擾儀防震臺(tái),輪廓儀防震臺(tái),電子太平防震臺(tái),超快激光系統(tǒng)防震臺(tái),時(shí)頻系統(tǒng)防震臺(tái),大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺(tái),激光設(shè)備主動(dòng)防震!
工作原理:
安裝有測(cè)量和制造設(shè)備的地板或多或少會(huì)有振動(dòng)。如果這些振動(dòng)對(duì)設(shè)備造成不利影響,最有效的解決方案則是使用隔振臺(tái)(減振臺(tái)),以便營(yíng)造最適合該設(shè)備的條件。
主動(dòng)隔振臺(tái)使用電氣控制,通過對(duì)傳入振動(dòng)施加反方向的力來立即消除振動(dòng)。傳感器不斷監(jiān)測(cè)振動(dòng),并基于該信息,執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力,并繼續(xù)產(chǎn)生最佳的振動(dòng)隔離狀態(tài)。主動(dòng)式隔振臺(tái)擅長(zhǎng)于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振。
AVI系列主動(dòng)隔振臺(tái)采用先進(jìn)的隔振技術(shù),適用于任何研究情況下,可以隔離6個(gè)自由度方向上的振動(dòng),包括水平和垂直方向。AVI系列平臺(tái)利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動(dòng),通過將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號(hào)發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中,然后改換能器產(chǎn)生一個(gè)與傳入壓力大小相等,相位相反的壓力信號(hào)來消除傳入振動(dòng)。隔振系統(tǒng)利用一個(gè)反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振??蔀閷?shí)驗(yàn)室中對(duì)震動(dòng)敏感的設(shè)備如電鏡,光學(xué)器件等精密儀器隔離來自地面的震動(dòng),提供穩(wěn)定的測(cè)試環(huán)境。
產(chǎn)品亮點(diǎn):
六個(gè)空間方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主動(dòng)隔振, >200Hz被動(dòng)隔振)
5-20ms響應(yīng)時(shí)間
低頻隔振性能優(yōu)異,安裝和使用簡(jiǎn)單
系統(tǒng)主動(dòng)檢測(cè)輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除
緊湊、模塊化的多功能設(shè)計(jì)
穩(wěn)定性高,能無(wú)故障連續(xù)使用多年
無(wú)低頻共振、無(wú)空氣要求
應(yīng)用范圍:
STM
AFM
干涉儀
摩擦學(xué)
輪廓儀
高精度計(jì)量
升級(jí)選項(xiàng):
可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來增強(qiáng)低頻隔振效果,隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。
技術(shù)參數(shù):
型號(hào):AVI-400XL/LP
系統(tǒng)配置:獨(dú)立隔振裝置 & 控制裝置
主動(dòng)隔振范圍:大致為1.0 Hz - 200 Hz
被動(dòng)隔振范圍:大致為200 Hz以上
顯示屏信號(hào):多路復(fù)用信號(hào)用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動(dòng)水平。
LEDs 指示輸出階段的過載情況。
單元尺寸(每個(gè)):230 x 856 x 112.5 Hmm
控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm
隔振單元重量: 24kg
負(fù)載能力:800 kg (同等/低重心)
輸入電壓: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz
功耗:通常18W
校正力:水平最大8N,垂直最大16N
系統(tǒng)噪音:0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
靜態(tài)柔度:垂直約1.7 μm/N,水平約3.4 μm/N
溫度范圍:5℃ - 40℃
相對(duì)濕度:10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)
室內(nèi)/室外使用:僅用于室內(nèi)
隔振方案:
主動(dòng)減振臺(tái)/主動(dòng)式隔震臺(tái)/精密儀器隔振臺(tái)/Table stable