直線馬達(dá)特性對振動的造成關(guān)鍵緣故

通常情況下，直線馬達(dá)中的電動機(jī)自身不造成噪聲。一般 覺得到的“直線馬達(dá)噪聲”實(shí)際上是直線馬達(dá)立即或間接的與周邊構(gòu)造造成震動的響聲效用。這就是說為何很多那時(shí)候噪聲難題可被稱作涉及全部電動機(jī)運(yùn)用的震動難題。因載入翻轉(zhuǎn)體總數(shù)轉(zhuǎn)變而造成的激振當(dāng)1個(gè)軸向負(fù)載載入于某一直線馬達(dá)時(shí)，其承重負(fù)載的翻轉(zhuǎn)體總數(shù)在運(yùn)作時(shí)會稍有轉(zhuǎn)變，即：2-3-2-3....這造成了負(fù)載方位的偏位。從而造成的震動是難以避免的，但可根據(jù)徑向預(yù)載入來緩解，載入于全部翻轉(zhuǎn)體（不適感用以直線馬達(dá)中的圓柱體滾子軸承直線馬達(dá)）。構(gòu)件的波度在直線馬達(dá)圈與直線馬達(dá)座或轉(zhuǎn)動軸中間密相互配合的狀況下，直線馬達(dá)圈有將會與鄰近構(gòu)件的外觀設(shè)計(jì)相輔而形變。假如出現(xiàn)形變，在運(yùn)作中便將會造成震動。因而，把直線馬達(dá)座和轉(zhuǎn)動軸開展機(jī)械加工到需要的尺寸公差很關(guān)鍵。部分毀壞因?yàn)閷?shí)際操作或安裝不正確，小一部分直線馬達(dá)燕尾導(dǎo)軌和翻轉(zhuǎn)體將會會損傷。在運(yùn)作中，滾過損傷的直線馬達(dá)構(gòu)件會造成特殊的震動頻率。震動頻率剖析可鑒別出損傷的直線馬達(dá)構(gòu)件。運(yùn)用場所中的震動個(gè)人行為在很多運(yùn)用中，電動機(jī)的彎曲剛度與周邊構(gòu)造的彎曲剛度同樣。因?yàn)檫@一特性，要是恰當(dāng)?shù)靥暨x直線馬達(dá)（包含預(yù)負(fù)載和側(cè)隙）以及在運(yùn)用中的配備，總有將會降低運(yùn)用中的震動。

直線馬達(dá)應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)點(diǎn)

最常見的直線馬達(dá)類型有平板直線電機(jī)、U形槽直線電機(jī)和圓柱直線電機(jī)。圓柱型直線電機(jī)即音圈電機(jī)。音圈電機(jī)具有構(gòu)造簡單、響應(yīng)速度快、靈敏度高、隨動性好、密封性能好、不怕污染、適應(yīng)性強(qiáng)、運(yùn)行穩(wěn)定可靠、使用壽命長等優(yōu)點(diǎn)。因此，這種直線馬達(dá)廣泛用于半導(dǎo)體涉及器件和其他發(fā)展領(lǐng)域。

引線連接器

與半導(dǎo)體制造裝置有關(guān)的引線連接器的裝置，一般都在Z軸機(jī)構(gòu)和XY工作臺機(jī)構(gòu)上使用。Z軸機(jī)構(gòu)是通過用金屬線連接電極和引線框而相對于XY平臺上的集成電路芯片上下移動的機(jī)構(gòu)。

XY工作臺機(jī)構(gòu)是因?yàn)檫B接位置的改變而移動放置集成電路芯片電極和引線框架的工作臺的機(jī)構(gòu)。

有效減振器

為保證半導(dǎo)體涉及裝置中的加工精度，對裝置所存放地基的震動以及建在裝置上的驅(qū)動設(shè)備產(chǎn)生的震動都要予以抑制。原先是用彈簧和流體進(jìn)行被動的或主動的震動抑制，因?yàn)橐羧?span style="color:#E53333;">直線馬達(dá)的構(gòu)造簡單，響應(yīng)性好等優(yōu)勢，并且對檢測的振動能實(shí)現(xiàn)抵消作用的操作。這一有效減振器非常實(shí)用，由此而贏得積極的推廣。

雙軸十字平臺

隨著工業(yè)4.0的發(fā)展，音圈直線馬達(dá)已成為半導(dǎo)體行業(yè)不可或缺的核心部件。 標(biāo)準(zhǔn)環(huán)形音圈電機(jī)的峰值推力達(dá)到5000N，行程達(dá)到300mm，擺動型音圈電機(jī)的峰值轉(zhuǎn)矩達(dá)到50N.M，擺動角度超過120°。音圈直線馬達(dá)將在許多領(lǐng)域贏得更多的應(yīng)用，慢慢取代傳統(tǒng)電機(jī)如齒條和螺桿。

直線馬達(dá)和滾珠絲杠驅(qū)動的應(yīng)用對比

滾珠絲桿在數(shù)控車床制造行業(yè)的廣泛運(yùn)用，促進(jìn)了生產(chǎn)加工數(shù)控車床制造行業(yè)的迅速發(fā)展趨勢，但腳踏式傳動系統(tǒng)的局限，已沒法解決日漸高效運(yùn)轉(zhuǎn)、高效性鉆削的發(fā)展趨向。平行直線馬達(dá)式就是說在這類發(fā)展趨勢的要求下造成的一種髙速高效率傳動系統(tǒng)方法，非常是數(shù)控車床的髙速傳動系統(tǒng)發(fā)展趨勢跨上一個(gè)新高度。法國做為全球數(shù)控車床的行者，20新世紀(jì)80時(shí)代就剛開始了髙速切削和銑削技術(shù)性的產(chǎn)品研發(fā)。1993年，法國EXCELLO企業(yè)發(fā)布了全球一個(gè)由平行直線馬達(dá)驅(qū)動器的操作臺HSC-240型高速加工中心，車床主軸最髙速超過24000r/min，較大走刀速率為60n/min，瞬時(shí)速度超過1g。

當(dāng)走刀速率為20m/min時(shí)，其輪廊精密度達(dá)到0.004mm。英國的Ingersoll企業(yè)隨后發(fā)布了HVM-800型高速加工中心，較大走刀速率超過75.20m/min。

平行直線馬達(dá)數(shù)控加工中心國外的寶馬五系、通用性等有名汽車集團(tuán)早已有完善的運(yùn)用，在中國上汽通用、東風(fēng)雪鐵龍、昌河鈴木、海馬汽車等也是整線的運(yùn)用案例。文中從技術(shù)指標(biāo)分析和運(yùn)用案例上開展了平直線馬達(dá)和滾珠絲桿驅(qū)動器數(shù)控加工中心的比照。圖1為ComauUrane25平行線電機(jī)高速加工中心。

傳動系統(tǒng)基本原理解析比照滾珠杠副存任的難題以下：

（1）“轉(zhuǎn)動電機(jī)+滾珠絲桿副”的平行線驅(qū)動器方法存有著好幾個(gè)延展性階段，當(dāng)全部系統(tǒng)軟件在髙速健身運(yùn)動時(shí)，會出現(xiàn)彎曲剛度降低，另外延展性形變使系統(tǒng)軟件的階次變大，系統(tǒng)軟件的魯棒性減少，進(jìn)而使伺服電機(jī)特性降低。延展性形變是數(shù)控車床造成機(jī)械設(shè)備串聯(lián)諧振的根本原因。

（2）正中間傳動系統(tǒng)階段的存有，提升了健身運(yùn)動體的慣量，促使偏移和速率沒有響應(yīng)很慢。

（3）空隙死區(qū)、磨擦、偏差累積等要素，使走刀速率和瞬時(shí)速度受限制。

（4）動轉(zhuǎn)單位根檢驗(yàn)較弱，在髙速健身運(yùn)動下噪音易發(fā)燙。

（5）精密度維持使用壽命相對性短。